龐大信息社會(huì )的根基是一枚枚小巧的集成電路，通常被人們稱(chēng)為“芯片”。別看芯片“身材小”，他們“喂養”著(zhù)現代工業(yè)，手機、電腦、家電、高鐵、電動(dòng)車(chē)、機器人、醫療儀器等離開(kāi)他們根本無(wú)法運轉。

　　“芯片強則產(chǎn)業(yè)強，芯片興則經(jīng)濟興，沒(méi)有芯片就沒(méi)有安全�！笨萍疾恐卮髮�(zhuān)項辦公室主任陳傳宏說(shuō)，芯片（集成電路）制造技術(shù)是當今世界最高水平微細加工技術(shù)，是全球高科技國力競爭的戰略必爭制高點(diǎn)。

　　2008年，我國啟動(dòng)實(shí)施“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”國家科技重大專(zhuān)項（簡(jiǎn)稱(chēng)集成電路裝備專(zhuān)項）。9年來(lái)，集成電路高端制造裝備和材料從無(wú)到有填補產(chǎn)業(yè)鏈空白，制造工藝與封裝集成由弱漸強走向世界參與國際競爭，集成電路產(chǎn)業(yè)駛入了自主創(chuàng )新發(fā)展的快車(chē)道。

　　關(guān)鍵裝備實(shí)現從無(wú)到有

　　集成電路裝備專(zhuān)項實(shí)施以來(lái)，我國集成電路制造技術(shù)和產(chǎn)業(yè)實(shí)現了從無(wú)到有、由弱漸強的巨大變化

　　“每當集成電路技術(shù)進(jìn)步一代，尺寸就縮小三分之一，對應整個(gè)集成度提高4倍�！奔�成電路裝備專(zhuān)項技術(shù)總師、中科院微電子研究所所長(cháng)葉甜春說(shuō)：“以28納米技術(shù)為例，集成度相當于在指甲蓋大小的面積上制造出10億個(gè)以上的晶體管，其中每根導線(xiàn)相當于人體頭發(fā)絲的三千分之一。更為先進(jìn)的14納米技術(shù)，則相當于在人體頭發(fā)絲截面上制造出50萬(wàn)個(gè)以上的晶體管，其中每根導線(xiàn)相當于人體頭發(fā)絲的五千分之一�！�

　　如此精細操作堪比在“針尖上跳舞”，對裝備、材料、工藝都是極大的考驗，由于涉及高技術(shù)含量，制造集成電路的裝備價(jià)格是一般裝備價(jià)格的10倍到100倍。長(cháng)期以來(lái)，在集成電路高端裝備上我國長(cháng)期受制于人，因為沒(méi)有工藝節點(diǎn)達到90納米、65納米以下的國內自主研發(fā)集成電路裝備，只能采用國外的設備。

　　西方發(fā)達國家一直對出口到中國的集成電路制造裝備和材料以及工藝技術(shù)嚴格審查和限制。這對我國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展構成了嚴重制約，問(wèn)題日益凸顯。與此同時(shí)，隨著(zhù)我國國民經(jīng)濟的快速發(fā)展尤其是信息化進(jìn)程的加快，對集成電路產(chǎn)品的需求持續快速增長(cháng)，從2006年開(kāi)始，集成電路產(chǎn)品超過(guò)石油成為我國最大宗進(jìn)口產(chǎn)品，2013年至今，每年進(jìn)口額超過(guò)2000億美元。

　　實(shí)現集成電路領(lǐng)域的自主創(chuàng )新發(fā)展迫在眉睫。2008年集成電路裝備專(zhuān)項實(shí)施以來(lái)，200多家企事業(yè)單位、2萬(wàn)多名科研人員參與技術(shù)攻關(guān)，主要集中在北京、上海、江蘇、沈陽(yáng)、深圳和武漢等6個(gè)重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)聚集區。經(jīng)過(guò)廣大科研人員艱苦努力，我國集成電路制造技術(shù)和產(chǎn)業(yè)實(shí)現了從無(wú)到有、由弱漸強的巨大變化。

　　“我們有了自己的刻蝕機等關(guān)鍵裝備，并批量應用在大生產(chǎn)線(xiàn)上；集成電路成套工藝水平提升5代，55/40/28納米三代工藝完成研發(fā)實(shí)現量產(chǎn)，20-14納米工藝研發(fā)取得突破；后道封裝集成技術(shù)成果全面實(shí)現量產(chǎn)，引領(lǐng)全行業(yè)技術(shù)水平從低端跨入高端，實(shí)現與世界同步�！比~甜春告訴記者。

　　這些自主研發(fā)的設備不僅銷(xiāo)往國內市場(chǎng)，也逐步進(jìn)入海外市場(chǎng)。比如，中微半導體設備(上海)有限公司研發(fā)的介質(zhì)刻蝕設備不僅支持國內芯片制造企業(yè)從65納米到28納米技術(shù)代的發(fā)展，而且在國際市場(chǎng)上各個(gè)技術(shù)節點(diǎn)水平都可以與世界最先進(jìn)設備廠(chǎng)商競爭。目前，中微公司已有460多個(gè)介質(zhì)刻蝕反應臺在海內外27條生產(chǎn)線(xiàn)上高質(zhì)量、穩定地生產(chǎn)了4000多萬(wàn)片晶圓；在臺積電的研發(fā)線(xiàn)上正在開(kāi)發(fā)和核準5納米刻蝕。

　　集成電路是所有產(chǎn)業(yè)中應用材料純度最高的產(chǎn)業(yè)�！拔覀冄兄瞥隽藪伖鈩┖蜑R射靶材等上百種關(guān)鍵材料，并通過(guò)大生產(chǎn)線(xiàn)考核進(jìn)入批量銷(xiāo)售。這些成果基本覆蓋了我國集成電路全產(chǎn)業(yè)鏈體系，扭轉了之前工藝技術(shù)全套引進(jìn)的被動(dòng)局面，為我國集成電路產(chǎn)業(yè)自主健康發(fā)展打下了堅實(shí)基礎�！比~甜春說(shuō)。

　　建立協(xié)同發(fā)展新模式

　　集成電路裝備專(zhuān)項通過(guò)市場(chǎng)機制打通了科技與經(jīng)濟的連接通道，建立科技、產(chǎn)業(yè)、金融與區域經(jīng)濟有效協(xié)同的新模式

　　“集成電路裝備專(zhuān)項取得了一系列技術(shù)成果，但更重要的成果是，專(zhuān)項通過(guò)積極探索，推動(dòng)構建了市場(chǎng)經(jīng)濟下的新型舉國體制�！睂�(zhuān)項實(shí)施管理辦公室負責人、北京市經(jīng)濟和信息化委員會(huì )主任張伯旭說(shuō)。

　　張伯旭所說(shuō)的新型體制是通過(guò)市場(chǎng)機制來(lái)打通科技與經(jīng)濟的連接通道，推動(dòng)建立以企業(yè)為主體，高校和科研院所大協(xié)作，科技、產(chǎn)業(yè)、金融與區域經(jīng)濟有效協(xié)同的新模式。

　　集成電路裝備專(zhuān)項由北京市、上海市兩個(gè)地方政府牽頭組織實(shí)施，這也是唯一一個(gè)由地方政府組織實(shí)施的重大專(zhuān)項，是我國科技重大專(zhuān)項組織實(shí)施模式的一次創(chuàng )新嘗試。9年來(lái)，北京市政府、上海市政府與中央部委共同強化專(zhuān)項的戰略研究和頂層設計，在重點(diǎn)區域合力布局，引導地方政府投入要素資源，推動(dòng)區域產(chǎn)業(yè)聚集發(fā)展、調整升級，形成了科技創(chuàng )新與區域經(jīng)濟融合協(xié)同發(fā)展的新局面。

　　張伯旭告訴記者，為了更好地解決科技成果產(chǎn)品化的問(wèn)題，集成電路裝備專(zhuān)項率先提出了“應用考核技術(shù)，整機考核部件，下游考核上游，市場(chǎng)考核產(chǎn)品”的用戶(hù)考核機制。通過(guò)用戶(hù)和市場(chǎng)的考核驗證，保證專(zhuān)項成果成為經(jīng)過(guò)嚴格的市場(chǎng)與用戶(hù)考驗、真正可以應用的產(chǎn)品，解決了科技成果檢驗標準和驗證機制的難題，從而使專(zhuān)項研發(fā)的裝備、材料、零部件和工藝實(shí)現從技術(shù)創(chuàng )新到成果轉化應用的艱難跨越。據了解，專(zhuān)項成果的銷(xiāo)售業(yè)績(jì)累計1800億元。

　　產(chǎn)學(xué)研用緊密結合也是集成電路裝備專(zhuān)項實(shí)施中的一大亮點(diǎn)。專(zhuān)項通過(guò)構建光刻設備和封測等產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng )新聯(lián)盟，集合產(chǎn)業(yè)鏈上制造工藝、裝備、相關(guān)零部件和材料等上下游企業(yè)、相關(guān)研究機構和高等院校達200多家單位共同開(kāi)展產(chǎn)學(xué)研用協(xié)同攻關(guān)。中芯國際是國內規模最大、技術(shù)最先進(jìn)的集成電路晶圓代工企業(yè)，通過(guò)專(zhuān)項整體布局，中芯國際先后為20余家設計單位提供65-45-28納米產(chǎn)品開(kāi)發(fā)支持。2016年國內設計公司營(yíng)銷(xiāo)收入占中芯國際總營(yíng)銷(xiāo)收入近50%。

　　隨著(zhù)自主創(chuàng )新體系的日趨完善、產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同創(chuàng )新能力的大幅提高，集成電路裝備專(zhuān)項主動(dòng)引導地方和社會(huì )的產(chǎn)業(yè)投資跟進(jìn)，扶植企業(yè)做大做強，推動(dòng)成果產(chǎn)業(yè)化，形成產(chǎn)業(yè)規模，提高整體產(chǎn)業(yè)實(shí)力。

　　成果應用帶動(dòng)產(chǎn)業(yè)提升

　　通過(guò)利用集成電路裝備技術(shù)，泛半導體制造領(lǐng)域的裝備國產(chǎn)化率大幅提高，LED照明、光伏等產(chǎn)業(yè)規模躍居世界第一

　　作為基礎產(chǎn)業(yè)的集成電路制造裝備業(yè)，其成果輻射的帶動(dòng)面很廣。通過(guò)利用集成電路裝備技術(shù)，LED照明、傳感器、光伏等泛半導體制造領(lǐng)域的裝備國產(chǎn)化率大幅提高。尤其是LED照明、光伏等領(lǐng)域已實(shí)現關(guān)鍵裝備成套國產(chǎn)化，國產(chǎn)裝備成為市場(chǎng)主流。

　　葉甜春告訴記者，據不完全統計，國產(chǎn)裝備在泛半導體產(chǎn)業(yè)已經(jīng)銷(xiāo)售6590臺。這些裝備的國產(chǎn)化使得我國在LED、光伏等領(lǐng)域投資成本顯著(zhù)降低，持續推動(dòng)我國相關(guān)產(chǎn)業(yè)整體競爭力大幅提升，LED照明、光伏等產(chǎn)業(yè)規模躍居世界第一，技術(shù)水平也實(shí)現了國際領(lǐng)先。

　　北方華創(chuàng )科技集團股份有限公司相關(guān)負責人介紹，通過(guò)集成電路裝備專(zhuān)項成果擴展應用，公司成為L(cháng)ED、光伏等泛半導體設備國際主流供應商，近年來(lái)在與本土零部件企業(yè)合作中，大幅提升了國產(chǎn)設備的性?xún)r(jià)比，在LED、光伏等領(lǐng)域全面替代進(jìn)口產(chǎn)品，不僅增加了客戶(hù)效益，也為公司帶來(lái)了數十億元的銷(xiāo)售收入，相關(guān)設備批量出口美國、印度等國家。

　　中國是全球最大的半導體市場(chǎng)，也是全球最大的電子信息產(chǎn)品制造基地。葉甜春表示，面向2020年，集成電路裝備專(zhuān)項將圍繞傳統產(chǎn)業(yè)升級和戰略性新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展的需求組織攻關(guān)，推動(dòng)創(chuàng )新成果的規�；瘧�用，支持中國企業(yè)在全球產(chǎn)業(yè)鏈中建立起核心競爭力，實(shí)現產(chǎn)業(yè)自主發(fā)展，形成特色優(yōu)勢。（經(jīng)濟日報·中國經(jīng)濟網(wǎng)記者 杜 芳）