經(jīng)濟日報原標題：成功研制14納米刻蝕機等高端設備——我國建成自主集成電路制造技術(shù)體系

　　如今，濃縮在小小芯片上的集成電路成為社會(huì )發(fā)展的重要支撐。電腦、手機、家電、汽車(chē)、機器人等各種產(chǎn)品都離不開(kāi)集成電路。沒(méi)有集成電路產(chǎn)業(yè)的支撐，信息社會(huì )就失去了根基，集成電路因此被喻為現代工業(yè)的“糧食”。

　　我國作為全球最大的半導體市場(chǎng)，對集成電路產(chǎn)品的需求持續快速增長(cháng)。長(cháng)期以來(lái)，發(fā)達國家對出口到中國的制造裝備、材料以及工藝技術(shù)進(jìn)行嚴格審查和限制。想要擁有自主知識產(chǎn)權的高技術(shù)芯片，就必須發(fā)展我國自己的集成電路產(chǎn)業(yè)體系。

　　2008年，“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”國家科技重大專(zhuān)項開(kāi)始啟動(dòng)實(shí)施，其總體目標是開(kāi)展集成電路制造裝備、成套工藝和材料技術(shù)攻關(guān)，掌握核心技術(shù)，開(kāi)發(fā)關(guān)鍵產(chǎn)品，實(shí)現產(chǎn)業(yè)自主創(chuàng )新發(fā)展。

　　“專(zhuān)項實(shí)施前，我國集成電路高端裝備和材料基本處于空白狀態(tài)，完全依賴(lài)進(jìn)口，產(chǎn)業(yè)鏈嚴重缺失�！奔�成電路專(zhuān)項技術(shù)總師葉甜春說(shuō)，通過(guò)2萬(wàn)科技工作者9年的艱苦攻關(guān)，我國已研制成功14納米刻蝕機、薄膜沉積等30多種高端裝備和靶材、拋光液等上百種材料產(chǎn)品，性能達到國際先進(jìn)水平，通過(guò)了大生產(chǎn)線(xiàn)的嚴格考核，開(kāi)始批量應用并出口到海外，從而實(shí)現了從無(wú)到有的突破，填補了產(chǎn)業(yè)鏈空白，使我國集成電路制造技術(shù)體系和產(chǎn)業(yè)生態(tài)得以建立和完善。

　　在這些成果的基礎上，國內企業(yè)還應用這些高端成果研制出了成套的LED和光伏制造裝備，使得我國LED和光伏等泛半導體產(chǎn)業(yè)綜合競爭力大幅躍升，產(chǎn)業(yè)規模和技術(shù)水平實(shí)現了國際領(lǐng)先。

　　該重大專(zhuān)項的實(shí)施還使得我國制造工藝與封裝集成由弱漸強，技術(shù)水平飛速跨越，國際競爭力大幅提升�！�2008年前，國內集成電路制造最先進(jìn)的量產(chǎn)工藝為130納米，研發(fā)工藝為90納米。專(zhuān)項實(shí)施至今，主流工藝水平提升了5代，55、40、28納米三代成套工藝研發(fā)成功并實(shí)現量產(chǎn)，22、14納米先導技術(shù)研發(fā)取得突破，形成了自主知識產(chǎn)權；封裝企業(yè)從低端進(jìn)入高端，三維高密度集成技術(shù)達到了國際先進(jìn)水平�！比~甜春說(shuō)，借助這些工藝制造的智能手機、智能卡等芯片產(chǎn)品大批量進(jìn)入市場(chǎng)，提高了我國信息產(chǎn)業(yè)的競爭力。

　　缺乏自主知識產(chǎn)權一直是制約我國集成電路企業(yè)自主創(chuàng )新發(fā)展的瓶頸問(wèn)題，因此培育自主知識產(chǎn)權體系是科技重大專(zhuān)項組織實(shí)施的重中之重。葉甜春說(shuō)，集成電路專(zhuān)項已申請了2.3萬(wàn)余項國內發(fā)明專(zhuān)利和2000多項國際發(fā)明專(zhuān)利，所形成的知識產(chǎn)權體系使國內企業(yè)在國際競爭中的實(shí)力和地位發(fā)生了巨大變化，發(fā)展模式也從“引進(jìn)消化吸收再創(chuàng )新”轉變?yōu)椤白灾餮邪l(fā)為主加國際合作”的新模式。

　　“盡管技術(shù)和材料領(lǐng)域取得了重大突破，但我認為該專(zhuān)項最大的進(jìn)展是形成了我國自己的集成電路制造技術(shù)體系，產(chǎn)業(yè)體系建立起來(lái)了，就好比搭建了一個(gè)‘金字塔’，各個(gè)層級的技術(shù)和產(chǎn)品都有。以前我們集成電路只有幾塊底座，最多在底座上樹(shù)幾個(gè)旗桿，現在裝備材料加上工藝我們都有了，搭建起自己的‘金字塔’，我們有自信加入國際競爭，這種競爭是體系與體系的競爭�！比~甜春說(shuō)。

　　產(chǎn)業(yè)體系的構建過(guò)程離不開(kāi)體制機制的創(chuàng )新。北京市經(jīng)信委主任張伯旭表示，“下游考核上游，整機考核部件，應用考核技術(shù)，市場(chǎng)考核產(chǎn)品”的考核制，保證了科研成果的實(shí)用性，成就了一大批經(jīng)得起市場(chǎng)檢驗的高端產(chǎn)品。

　　此外，專(zhuān)項在實(shí)施過(guò)程中，采取產(chǎn)業(yè)鏈、創(chuàng )新鏈、金融鏈有效協(xié)同的新模式�！皩�(zhuān)項與重點(diǎn)區域產(chǎn)業(yè)發(fā)展規劃協(xié)同布局，主動(dòng)引導地方和社會(huì )的產(chǎn)業(yè)投資跟進(jìn)支持，有效推動(dòng)了專(zhuān)項成果產(chǎn)業(yè)化，扶植企業(yè)做大做強，形成產(chǎn)業(yè)規模，提高整體產(chǎn)業(yè)實(shí)力�！睆埐�旭說(shuō)，在專(zhuān)項支持下，一批龍頭企業(yè)進(jìn)入世界前列，一批骨干企業(yè)開(kāi)始積極參與國際競爭，專(zhuān)項支持的企業(yè)在資本市場(chǎng)備受青睞。

　　葉甜春說(shuō)，專(zhuān)項已經(jīng)在14納米裝備、工藝、封裝、材料等方面進(jìn)行了系統部署，預計到2018年將全面進(jìn)入產(chǎn)業(yè)化�！笆�三五”還將重點(diǎn)支持7至5納米工藝和三維存儲器等國際先進(jìn)技術(shù)的研發(fā)，支持中國企業(yè)在全球產(chǎn)業(yè)鏈中擁有核心競爭力，實(shí)現產(chǎn)業(yè)自主發(fā)展，形成特色優(yōu)勢。（經(jīng)濟日報記者 杜 芳）